高纯气体根据分子结构的不同可以分为有机高纯气体，和无机高纯气体，环氧乙烷可用作生产增塑剂、润滑剂等；氯甲烷是重要的甲基化剂，还可作致冷剂、发泡剂等；氯乙烷可用作烟雾剂、冷冻剂、汽油抗震剂、局部**剂；二甲醚可作喷气推进剂、制冷剂、**剂；甲硫醇用于合成染料、医药、农药；乙炔可直接用于金属切割焊接、原子吸收；乙烯基乙炔主要作为氯丁橡胶原料等。
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